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Gigaphoton公司發(fā)布了世界上最大輸出級(jí)的KrF激光機(jī)G45K

  對(duì)最尖端存儲(chǔ)芯片生產(chǎn)率的提高作出了極大的貢獻(xiàn)

  日本栃木縣小山市--(美國(guó)商業(yè)資訊)--半導(dǎo)體光刻光源制造商Gigaphoton株式會(huì)社(總部:栃木縣小山市,董事兼總經(jīng)理:浦中克己)宣布,自2019年3月開(kāi)始出產(chǎn)世界上最大輸出級(jí)KrF激光機(jī)G45K,它將有助于進(jìn)一步提高最尖端存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)效率。

  隨著近年來(lái)物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的普及,據(jù)說(shuō)近年來(lái)世界上的信息數(shù)據(jù)量已經(jīng)增長(zhǎng)了十倍。 為了解決這個(gè)問(wèn)題,芯片制造商正致力于提高最尖端的高度集成存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)率。在光刻工藝中,作為光源的KrF激光機(jī)的輸出功率直接有助于提高生產(chǎn)率,因此一直被期望實(shí)現(xiàn)更高的輸出。

  為了應(yīng)對(duì)這樣的需求,Gigaphoton的KrF激光器G45K輸出功率達(dá)到了50W,比傳統(tǒng)型號(hào)提高了25%以上,使得最尖端的存儲(chǔ)芯片能夠?qū)崿F(xiàn)更高效率的生產(chǎn)。此外,通過(guò)將裝置中主要模塊的使用壽命延長(zhǎng)20%,能夠大幅減少維護(hù)停機(jī)的時(shí)間,同時(shí)也有助于提高生產(chǎn)率。此外,關(guān)于Gigaphoton的綠色技術(shù),和傳統(tǒng)型號(hào)相同,“無(wú)氦氣”作為標(biāo)準(zhǔn)裝備,適用“hTGM(氖氣回收系統(tǒng))”,能夠有效降低運(yùn)營(yíng)成本。

  Gigaphoton的董事總經(jīng)理兼CEO浦中克己先生表示:“隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能的迅速普及,提高最尖端存儲(chǔ)芯片的生產(chǎn)率是我們的客戶芯片制造商的當(dāng)務(wù)之急。Gigaphoton的KrF激光機(jī)G45K實(shí)現(xiàn)了世界上最大級(jí)的輸出功率,并且通過(guò)延長(zhǎng)模塊的壽命節(jié)省了停機(jī)時(shí)間,我們相信這些將對(duì)客戶的高效生產(chǎn)作出貢獻(xiàn)!

  GIGAPHOTON公司簡(jiǎn)介

  GIGAPHOTON公司成立于2000年,作為一家激光器的供應(yīng)商,自成立以來(lái)一直為全球的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商提供有價(jià)值的解決方案。GIGAPHOTON時(shí)刻以客戶為中心,從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)、銷(xiāo)售及維護(hù),為用戶提供業(yè)界最高水準(zhǔn)的支持。更為詳細(xì)的介紹請(qǐng)您訪問(wèn):在 businesswire.com 上查看源版本新聞稿: 新聞媒體專(zhuān)用聯(lián)系窗口:GIGAPHOTON株式會(huì)社經(jīng)營(yíng)企劃部高久賢次電話: 0285-37-6931郵箱: web_info@gigaphoton.com

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